Однокоординатный пьезоперемещатель

Файлы

Vectus – однокоординатная подвижка.

Vectus – семейство устройств перемещения и позиционирования, разработанных инженерами компании NST. Устройство представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно из алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформирован канал для пьезокерамического актюатора, подвижные элементы подвижки и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность перемещения.

Однокоординатная подвижка Vectus предназначена для перемещения и позиционирования различных устройств вдоль одной оси. В частности, для перемещения объективов вдоль оптической оси для изменения положения фокуса относительно поверхности образцов или объектов в объеме образца. Кроме того, такие подвижки являются важнейшим элементом 3D конфокальных микроскопов. В совокупности с двухкоординатными подвижками, работающими в плоскости XY, такие системы позволяют получать полноценное трехмерное конфокальное изображение различных объектов. Однако, перемещением объективов микроскопов, применение данного устройства не ограничивается. Перемещение и позиционирование с высокой точностью образцов, различных функциональных элементов исследовательских установок и научных приборов. При этом перемещение возможно осуществлять как в ручную, так и по специальной заранее заданной программе, в том числе и поддерживать положение сенсора или объектива таким образом, что бы значение представляющего интерес сигнала было постоянным.

Подвижка Vectus снабжена ёмкостным датчиком перемещения, включенным в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики. Микросхема ВЦП (время-цифровых преобразованей), измеряющая ёмкость датчика, расположена максимально близко к датчику, и выдает цифровой сигнал, пропорциональный измеренной ёмкости. Это позволяет минимизировать влияние внешних электромагнитных шумов, и использовать длинный кабель для связи подвижки с контроллером.

Подвижка Vectus работает под управлением специализированного контроллера для управления одно- и двухкоординатными подвижками EG-1000 или универсального контроллера EG-3000 и программного обеспечения NSpec.

В том числе однокоординатная подвижка Vectus предназначена для исследовательских разработок в рамках различных НИИОКР. Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе по одной оси приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы таким образом, экономя средства проекта и время.

В сканерах применяется технология с использованием Оптических датчиков.

Доступные модели подвижек:

Параметр	Vectus 60	Vectus 100
диапазон перемещений, μm	60	100
резонансная частота, kHz	0.5	0.5
минимальный шаг перемещения, nm	0.1	0.1
максимальное отклонение от нормали на полном ходу	< 0.01°	< 0.01°
максимальная масса перемещаемого объекта, g	300	300