Ratis XYZ_H – трехкоординатный плоскопараллельный сканер
Файлы
Ratis XYZ_H – трехкоординатный плоскопараллельный сканер
Ratis XYZ_H – базовая модель сканирующего столика.
Ratis XYZ_H – плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками.
Уникальная автоматическая система термостабилизации и калибровки позволяет использовать плоскопараллельный сканирующий столик в температурном диапазоне ±40°C.
Все оси сканера Ratis снабжены оптическими датчиками перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики. Микросхемы Sin/Cos интерполяции, расположены максимально близко к самим датчикам, и выдают цифровой сигнал, пропорциональный текущему положению.
Это позволяет минимизировать влияние внешних электромагнитных шумов, и использовать длинные кабели для связи сканера с контроллером.
Сканеры Ratis XYZ_H работает под управлением универсального контроллера EG-5000 или EG-1100 и программного обеспечения NSpec.
Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время.
Используется совместно с контроллерами EG-1100
В сканерах применяется технология с использованием
Оптических датчиков.
Основные параметры:
| Параметр |
Ratis XYZ_H |
| диапазон перемещений по XY, μm | 100 |
| диапазон перемещений по оси Z, μm | 50 |
| резонансная частота по осям XY, kHz | 1 |
| резонансная частота по оси Z, kHz | 3 |
| минимальный шаг перемещения, nm | 0.1 |
| максимальное отклонение от нормали на полном ходу | < 0.01° |
| максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) | 10 |
| максимальная масса образца, g | 100 |
| рабочий температурный диапазон, °C | ±40 |
| *Опционально | - |
Нано Скан Технология
доступные инновации
