Ratis SPM_B XYZ

Ratis SPM_B XYZ – трехкоординатный плоскопараллельный сканер для СЗМ приложений

Ratis SPM_B XYZ – усовершенствованная модель сканирующего пьезостолика, имеющий повышенную жесткость , что позволяет сканировать с большей скоростью и качеством в СЗМ приложениях.

Ratis SPM_B XYZ – плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками.

 

Все оси сканера Ratis SPM снабжены ёмкостными датчиками перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики. Микросхемы ВЦП (время-цифровых преобразователей), измеряющие емкость датчиков, расположены максимально близко к самим датчикам, и выдают цифровой сигнал, пропорциональный измеренной емкости.

Это позволяет минимизировать влияние внешних электромагнитных шумов, и использовать длинные кабели для связи сканера с контроллером.

Сканеры Ratis SPM_B XYZ работает под управлением универсального контроллера EG-3000 или EG-1000 и программного обеспечения NSpec.

Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время.

Используется совместно с контроллерами EG-3000 (EG-1000)

В сканерах применяется технология с использованием дифференциальных емкостных датчиков.

 

 

Основные параметры:

Параметр
RatisSPM XYZ
диапазон перемещений по XY, μm 50
диапазон перемещений по оси Z, μm 15
резонансная частота по осям XY, kHz 1
резонансная частота по оси Z, kHz 50
минимальный шаг перемещения, nm 0.1
максимальное отклонение от нормали на полном ходу < 0.01°
максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) 100
максимальная масса образца, g 100
рабочий температурный диапазон, °C ±40
*Опционально -

 


Нано Скан Технология

доступные инновации